系统包括扫描模块、样品室、真空系统、电气系统、光学系统、计算机数字图像记录系统、控制和数据处理系统以及浸没式肖特基 Plus 电子枪、检测器系统和探头系统。
1. 电子光学系统
1）二次电子分辨率：≤0.5 nm@15 kV，≤0.7 nm@1 kV，≤0.9 nm (500 V)，3.0 nm (5 kV, 5 nA, WD 10 mm)；
2） 标配样品台偏压模式，最大偏压≥5kV；
3）放大倍率：10X-2,000,000X倍，根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准。
4）可自动优化整个电流范围内的物镜光阑角。即使改变探针电流量，也能调整入射电子的扩散，始终可以获取最小的电子束斑，无需手动切换光阑；
5）混合型无漏磁物镜设计，可以测试磁性样品。
2. 样品室及样品台
1）样品室：最大直径≥150mm，最大高度≥ 40mm；
2）样品台：五轴优中心马达驱动，移动最大范围指标： X≥70 mm， Y≥50mm， Z≥41mm ，双向倾斜，倾斜轴：-5～+70°360°旋转；
3. 浸没式肖特基 Plus电子枪
1）探针电流：数pA-500 nA (30 kV)，数pA-100 nA (5 kV)；
2）能自动合轴调整，寿命保证3年
4. 探头系统
1）样品室二次电子探测器LED；
2）安装在物镜上方正光轴上的镜筒内电子探测器UHD；
3）样品室内可抽拉式背散射电子探测器BED；
4）原厂进口Hybrid Chamber Camera相机；
5）样品台导航系统。
5. 检测器系统
1）能同步采集多达4种以上检测器的信号；
2）标配低位检测器和高位检测器；
3）能谱仪1套
4）探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，40mm2有效面积，60mm2晶体面积；高分子超薄窗设计，无需液氮冷却，仅消耗电能.
5）能量分辨率：能量分辨率优于127eV（@计数率100,000cps）；
6）元素分析范围：Be4～Cf98；
7）具备零峰修正功能, 可以快速稳定谱峰, 开机后无需重新修正峰位。